半导体洁净车间

半导体洁净车间需要超高精度温控、稳定洁净度和厂务系统监控。智枫电气交付净化与动力自控柜，智枫昊元交付洁净车间数字孪生和 FMCS。

现场与软件

现场控制对象包括净化空调、阀门、传感器、动力配电和工艺设备的电气接口。软件把温湿度、洁净度、工艺冷却水、纯水、空压、真空、特气和排风放到同一监控里。官网没有公布晶圆厂客户名称。

合规与精度

具体温度公差、洁净等级和采样周期由工艺文件确定。专题页不把某一洁净等级写成公司的统一承诺。

洁净和厂务不要合成一个回路

洁净空调负责温湿度和房间压差，厂务系统负责工艺冷却水、纯水、空压、真空、特气和排风。它们可以出现在同一个 FMCS 画面里，但联锁按系统分开，避免特气或纯水报警被空调手自动切掉。洁净等级用 ISO 14644 的粒径和浓度语言描述，具体等级由工艺文件确定，本页不写统一的晶圆厂温度公差。

本文只整理官网已经公开的事实。证书编号、合同额、点位数和单项目节能率未公开的，不在本文补写。